成悅科技有限公司 Innovative Vacuum Solution Co., Ltd
公司簡介
About-us
客製化設備
IVS Products
濺鍍 Sputter
蒸鍍 E-Gun/Thermal
化學氣相沉積 PECVD
蝕刻 Etcher
電漿清洗 Plasma Asher
晶片鍵合 Wafer bonder
二手設備
Surplus tools
前端設備 Front end EQUIP.
蒸鍍機 Evaporator
濺鍍機 Sputter
蝕刻機 Etcher
電漿清洗機 Plasma Asher
快速熱退火 RTP
旋乾機 Spin Dry
後端設備 Back end EQUIP.
烤箱 Oven/Furnace
雷切 Scribing/Dicing
量測儀器 Metrology
掃描式電子顯微鏡 SEM
原子力顯微鏡 AFM
台階儀 Alpha Step
X光分析儀 X-Ray Analyzer
四點探針 4 Point Probe
氦氣測漏儀 He Leak Detector
殘餘氣體分析儀 RGA
顯微鏡 Microscope
光譜儀 Spectrophoto
微塵粒子分析 Particle Counter
積分球 Spectrograph
推拉力機 Pull Shear Tester
橢圓儀 Spectroscopic Ellipsometry
黃光設備 Litho. EQUIP.
光阻塗佈 Spin Coater
曝光機 Mask aligner
廠務設備 Facilities EQUIP.
泵浦 Pump/Controller
冰水機 Chiller
其他 Others Facility Equipment
零組件
Parts/Components
真空計 Vacuum Gauge/Controller
質流量計 MFC (Mass Flow Controller)
電源供應器 Power supply/Controller
膜厚計 Deposition Controller
閥門 Valve/Controller
電子槍部件 E-Gun Parts
其他 Other Parts
代工
Foundry service
維修保養
Repair / Overhaul service
Vacuum pump
Vacuum gauge & controller
GP
MKS
Inficon
Pheiffer
Leybold
Edwards
Alcatel
RF Generator & Match Box
AE
Dressler
Seren
Huttinger
Comdel
ADTEC
ENI
E-Gun Power Supply
Telemark
Ulvac
Jeol
PlasmaTech
Valve
VAT
MKS
Varian
HVA
Others
Deposition controller
MFC
Bird meter
Helium detector
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晶片鍵合 Wafer bonder
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電漿清洗 Plasma Asher
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Wafer bonder：Eutectic / Glue bonding
Wafer bonder：Anodic bonding
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